ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS4JJ2，WG3NS4RR2，WG3NS7SL2
?
?Wafergard
?III?NF-100?在線氣體過濾器
全金屬過濾器在惰性和反應(yīng)性氣體應(yīng)用中具有出色的耐腐蝕性和出色的兼容性，流量高達?100?slpm
合身尺寸
1/4"
配件類型
密封墊片
長度
84.1?毫米（3.31?英寸）
最大工作壓力
50?巴（725?磅/平方英寸）
Wafergard?III?NF-75?在線氣體過濾器
為高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用中的超純氣體系統(tǒng)提供卓越的微粒過濾。
可用的最清潔、最高效的全金屬過濾器
鎳濾膜?
優(yōu)越的耐腐蝕性
高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
通常用于高達?75?slpm?的流量
應(yīng)用
Wafergard?III?NF-75?在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
閥組箱
新工廠建設(shè)
動壓應(yīng)用
惰性和反應(yīng)性氣體
注意：不建議與?CO、O?3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用。
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 獲得專利的燒結(jié)鎳膜過濾器
住房 電拋光?VAR?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子1 小于?0.03?個顆粒/升?(<1?個顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
揮發(fā)物2 H?2?O、O?2和?THC?的揮發(fā)性釋氣低于可檢測限（在室溫下通過?RGA?和?FID）
移除等級 ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 ≤5?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2?×?10?-10??atm?cc/秒
經(jīng)過測試 1?×?10?-9?atm?cc/秒
最大工作條件 最大入口壓力 70?巴?(1000?psi)?@?100°C
最大正向/反向壓差 10?巴?(150?psid)
最高工作溫度 惰性氣體 400°C?@?35?bar?(500?psi)
腐蝕性和反應(yīng)性氣體 50°C?@?70?bar?(1000?psi)
保修單 5年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?在最大額定流量下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 查看性能數(shù)據(jù)
1顆粒清潔度符合?SEMASPEC?顆粒脫落測試方法?(#93021511A-STD)。
2揮發(fā)性清潔度符合?SEMASPEC?測試方法的要求：THC?貢獻?(#90120396B-STD)、水分貢獻?(#90120397B-STD)?和氧氣貢獻?(#90120398B-STD)。
零件號
Wafergard?III?NF-75?在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3NS4JJ2 1/4"?對焊管 71.4?毫米（2.81?英寸）
WG3NS4RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0?毫米（5.00?英寸）
WG3NS7SL2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸）
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?Wafergard?III?NF-100?在線氣體過濾器
全金屬過濾器在惰性和反應(yīng)性氣體應(yīng)用中具有出色的耐腐蝕性和出色的兼容性，流量高達?100?slpm
合身尺寸
1/4"
配件類型
密封墊片
長度
84.1?毫米（3.31?英寸）
最大工作壓力
50?巴（725?磅/平方英寸）
Wafergard?III?NF-75?在線氣體過濾器
為高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用中的超純氣體系統(tǒng)提供卓越的微粒過濾。
可用的最清潔、最高效的全金屬過濾器
鎳濾膜?
優(yōu)越的耐腐蝕性
高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
通常用于高達?75?slpm?的流量
應(yīng)用
Wafergard?III?NF-75?在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
閥組箱
新工廠建設(shè)
動壓應(yīng)用
惰性和反應(yīng)性氣體
注意：不建議與?CO、O?3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用。
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 獲得專利的燒結(jié)鎳膜過濾器
住房 電拋光?VAR?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子1 小于?0.03?個顆粒/升?(<1?個顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
揮發(fā)物2 H?2?O、O?2和?THC?的揮發(fā)性釋氣低于可檢測限（在室溫下通過?RGA?和?FID）
移除等級 ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 ≤5?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2?×?10?-10??atm?cc/秒
經(jīng)過測試 1?×?10?-9?atm?cc/秒
最大工作條件 最大入口壓力 70?巴?(1000?psi)?@?100°C
最大正向/反向壓差 10?巴?(150?psid)
最高工作溫度 惰性氣體 400°C?@?35?bar?(500?psi)
腐蝕性和反應(yīng)性氣體 50°C?@?70?bar?(1000?psi)
保修單 5年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?在最大額定流量下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 查看性能數(shù)據(jù)
1顆粒清潔度符合?SEMASPEC?顆粒脫落測試方法?(#93021511A-STD)。
2揮發(fā)性清潔度符合?SEMASPEC?測試方法的要求：THC?貢獻?(#90120396B-STD)、水分貢獻?(#90120397B-STD)?和氧氣貢獻?(#90120398B-STD)。
零件號
Wafergard?III?NF-75?在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3NS4JJ2 1/4"?對焊管 71.4?毫米（2.81?英寸）
WG3NS4RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0?毫米（5.00?英寸）
WG3NS7SL2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸）
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ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?XX67000WH?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGGB01KAN?? ?氣體過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01KL0?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?YY260103P?? ?濾殼
ENTEGRIS?? ??? ?PN2H010E1?? ?濾芯
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGFG02PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3?? ?氣動閥
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2SS8RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG3NS6RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?CR8-2CT-12FF-3?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?YY260103P?? ?濾殼
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Entegris?? ??? ?WG3NS6RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS2RR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?YY260103N?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?CR4-2C-6F-3?? ?氣動閥
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01DS0（一包十個）?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ? CTFV01P01KPW?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3 13085331?? ?氣動閥
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS2RR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?CWFV0S1S3?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3?? ?氣動閥
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?CN2501E6?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
entegris?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
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ENTEGRIS?? ??? ?CN2501E6?? ?濾芯
Entegris?? ??? ?SVTH01TQ1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?CN2501E06?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG50PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01DSH?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?PLMV-K12?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLMV-K04?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLMV-K16?? ?閥
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ENTEGRIS?? ??? ?PLPV-K12?? ?閥
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ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?YY5032PS1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
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