英特格ENTEGRIS,氣體擴散器，CG2NDD050R2

?

Chambergard ?FV50D XL 氣體擴散器
快速減少負載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時間，并具有高效且堅固的鎳盤膜。

額定循環(huán)次數(shù)為 1,000,000 次，設(shè)計用于在更高的入口壓力下運行
緊湊型擴散器單元中的專利燒結(jié)鎳技術(shù)可在所有應用中提供卓越的性能
從進入的氣體中去除大于 0.0015 μm 的顆粒，最大限度地減少晶圓缺陷
易于安裝/改裝到現(xiàn)有工具中，最大限度地減少停機時間
?Chambergard ?FV50D XL 氣體擴散器應用
提供快速的氣體排放到大氣中，而不會干擾或向腔室中的晶片添加顆粒
料?? ?擴散器元件：燒結(jié)鎳膜過濾器
??? ?外殼：316L不銹鋼
??? ?內(nèi)部表面光潔度：<32 μin Ra
O形圈?? ?材質(zhì)：氟橡膠
??? ?尺寸：2-229
??? ?槽內(nèi)徑：59.9 毫米（2.36 英寸）
??? ?凹槽外徑：67.9 毫米（2.67 英寸）
??? ?凹槽深度：2.6 毫米（0.10 英寸）
連接?? ?入口： 1/4" VCR ?兼容公墊圈密封接頭
??? ?出口：ISO NW50 隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容
下游清潔度?? ?清潔度 小于 0.03 個顆粒/升 (< 1 個顆粒/ft 3 ) >0.01 μm 額定流量
移除等級?? ?>0.0015 μm
運行條件?? ?出口至真空的最大入口/出口壓力：4 bar (70 psig)
??? ?最大壓差：5 bar (75 psid)
??? ?最高工作溫度：100°C (212°F)，帶 O 形圈；400°C (752°F) 無 O 形圈
保修單?? ?5 年或 1,000,000 次循環(huán)
?