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檢測/測量

美國ENTEGRIS英特格過濾器WG2F02RR2 WG2FT1BW2
  • 美國ENTEGRIS英特格過濾器WG2F02RR2 WG2FT1BW2

  • 這些氣體過濾器適用于惰性氣體和活性氣體,與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性,并且易于安裝在空間狹小的氣體面板和機柜中。

    聚四氟乙烯膜提供高效過濾
    低壓降降低了低蒸氣壓氣體中冷凝的風(fēng)險
    與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的相容性
    適用于惰性和反應(yīng)性氣體,包括臭氧

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產(chǎn)品規(guī)格
材料
過濾元件
由模壓聚四氟乙烯結(jié)構(gòu)支撐的疏水性聚四氟乙烯膜
外殼?? ?電拋光的 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度?? ?小于 0.03 個粒子/升(<1 個粒子/立方英尺),大于 0.01 微米
揮發(fā)物?? ?<10 ppb 水分
去除率?? ?≥0.0015 微米
內(nèi)部表面光潔度 ≤7 微英寸 Ra
氦氣泄漏等級 ?通過認(rèn)證?? ?2 × 10-10 立方厘米/秒
測試值?? ?1 × 10-9 立方厘米/秒
運行條件?? ?最大入口壓力?? ?207 巴(3000 磅/平方英寸)@ 23°C(73°F)
最大正向壓差?? ?4 巴(60 磅/平方英寸)@ 23°C(73°F)
最大反向壓差:23°C(73°F)時為 0.07 兆帕(0.7 巴、10 磅/平方英寸)
最高工作溫度:120°C(248°F)
顆粒保留率
在 30 立方米每分鐘的流量下,對所有顆粒的去除率大于 99.9999999%(9 低限相對值),且針對最易穿透的顆粒尺寸進(jìn)行測試。
流量等級:請參考性能數(shù)據(jù)。

PART NUMBERFITTING SIZE AND TYPELENGTHAPPLICATION
WG2FT1BW2 1/4" Butt weld tube89.9 mm (3.54")Semiconductor
WG2FT1RF2 1/4" gasket seal (compatible with VCR fitting) male inlet/ female outlet88.9 mm (3.50")Semiconductor
WG2FT1RR2 1/4" Gasket seal (compatible with VCR fitting) male inlet/outlet84.1 mm (3.31")Semiconductor
WG2FT1RR2L 1/4" Gasket seal (compatible with VCR fitting) male inlet/outlet84.1 mm (3.31")Life Sciences
WG2FT1SS2 1/4" Compression seal (compatible with Swagelok fitting)73.7 mm (2.90")Semiconductor

LOGO

?153 3523 8557?153 3523 8557

無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)東房橋文八路142號無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)東房橋文八路142號

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