Wafergard® GTL 在線氣體過濾器

以高達 60 slpm 的流速可靠地去除惰性氣體中的顆粒。

• 提供高效、低成本、使用點的惰性氣體過濾
• >99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 µm 的顆粒
• 應用Wafergard® GTL 在線氣體過濾器應用
  • 低進氣過濾器
  • 晶圓輸送系統(tǒng)
  • 清潔干燥空氣 (CDA)產(chǎn)品規(guī)格
    零件號

    Wafergard® GTL 在線氣體過濾器部件號

    零件號	接頭尺寸和類型	長度
    WGFG01DSH	RC 1/4（PT1/4 母頭）	101 毫米（4.0 英寸）
    WGFG01DSO	1/4" NPT（內(nèi)螺紋）	101 毫米（4.0 英寸）

    材料	膜：	疏水性氟聚合物 PTFE
    	支架、外殼：	聚砜
    推薦流量	60 升/分鐘
    連接	Rc1⁄4（PT1⁄4 內(nèi)螺紋），1⁄4” NPT 內(nèi)螺紋
    膜面積	25 厘米2 (3.9 英寸2 )
    顆粒保留	>99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 μm 的顆粒（在最具穿透性的顆粒尺寸下驗證）
    運行條件	最大工作壓力：	0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
    	最大正向壓差：	0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
    	最大反向壓差：	0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
    	最高工作溫度：	50°C (122°F)
    方面	直徑：	25 毫米（0.98 英寸）
    	長度：	101 毫米（4.0 英寸）