ENTEGRIS英特格，WGMXMBSS4，WGMXMBSS3，WGMXMBSS2
ENTEGRIS英特格，WGMXMBSS4，WGMXMBSS3，WGMXMBSS2
ENTEGRIS英特格，WGMXMBSS4，WGMXMBSS3，WGMXMBSS2
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Wafergard ?MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
幻燈片細節(jié)。?
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這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮氣和 CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard ?MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?濾芯?? ?由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
??? ?住房?? ?電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度?? ?粒子?? ?小于 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
??? ?揮發(fā)物（銀）?? ?<10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級?? ?≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部?? ?WGMX（青銅）MB XXXX?? ?≤20 μin Ra
??? ?WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX?? ?≤7 μin Ra
氦泄漏等級?? ?合格的?? ?2 x 10 -10 atm-cc/秒
??? ?經(jīng)過測試?? ?1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
??? ?最大入口壓力
??? ?Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR ?兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
??? ? ?? ?青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
??? ? ?? ?Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok ?兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
??? ?最大正向壓差?? ?7 巴 (102 psid)
??? ?最大反向壓差?? ?2.5 巴 (36 psid)
??? ?最高工作溫度?? ?120°C (248°F)
流量等級?? ?參考性能數(shù)據(jù)
保修單?? ?青銅?? ?1年
??? ?銀?? ?3年
顆粒保留?? ?大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
Wafergard ?MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號?? ?接頭尺寸和類型?? ?長度
WGMXMBPRF2?? ?1/4" 公 VCR ?入口，1/4" 母 VCR ?出口?? ?141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2?? ?1/4" 公 VCR ?? ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4?? ?1/2" 公 VCR ?? ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2?? ?1/4" 世偉洛克 ?? ?112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3?? ?3/8" 世偉洛克 ?? ?117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4?? ?1/2" 世偉洛克 ?? ?118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2?? ?1/4" 公 VCR ?? ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4?? ?1/2" 公 VCR ?? ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2?? ?1/4" 世偉洛克 ?? ?112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3?? ?3/8" 世偉洛克 ?? ?117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4?? ?1/2" 世偉洛克 ?? ?118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2?? ?1/4" 對焊管?? ?133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3?? ?3/8" 對焊管?? ?133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4?? ?1/2" 對焊管?? ?133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2?? ?1/4" 公 VCR ?? ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4?? ?1/2" 公 VCR ?? ?127 毫米（5.00 英寸）