Chambergard ?快速排氣擴(kuò)散器
通過(guò)減少負(fù)載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時(shí)間來(lái)提高效率和吞吐量。
獲得專利的燒結(jié)鎳技術(shù)可在所有應(yīng)用中提供卓越的性能
設(shè)計(jì)能夠從進(jìn)入的氣體中去除大于 0.0015 μm 的顆粒，從而最大限度地減少晶圓缺陷
提供快速排氣，而不會(huì)干擾或向晶圓添加顆粒，減少循環(huán)時(shí)間，同時(shí)提高產(chǎn)量
將擴(kuò)散器的流動(dòng)特性與高效過(guò)濾器相結(jié)合，以提高效率和吞吐量
易于改裝/安裝到現(xiàn)有工具中，最大限度地減少停機(jī)時(shí)間
?應(yīng)用
Chambergard ?快速排氣擴(kuò)散器應(yīng)用
提供快速的氣體排放到大氣中，而不會(huì)干擾或向腔室中的晶片添加顆粒
產(chǎn)品規(guī)格
材料????擴(kuò)散器元件：獲得專利的燒結(jié)鎳膜過(guò)濾器
?????外殼：316L不銹鋼
?????內(nèi)部表面光潔度：≤32 μin Ra
表現(xiàn)????下游清潔度：清潔度小于 0.03 個(gè)顆粒/升（<1 個(gè)顆粒/英尺3）大于 0.01 μm 在額定流量下
?????去除率：≥0.0015 μm
?????可靠性：在 25°C (77°F) 的最大額定入口壓力下，100,000 次循環(huán)的可靠性
連接????請(qǐng)參閱數(shù)據(jù)表
運(yùn)行條件????請(qǐng)參閱數(shù)據(jù)表
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Chambergard? 快速排氣擴(kuò)散器部件號(hào)
| 零件號(hào) |
O 型圈尺寸 |
O型圈槽外徑 |
出口連接類型 |
O 型圈槽內(nèi)徑 |
O 型圈 凹槽深度 |
操作條件，最大入口壓力，出口至真空 |
工作條件，最大壓差 |
工作條件，最高工作溫度 |
入口連接類型 |
| WG3D16TR2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D228R2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公或母墊圈密封接頭或?qū)附宇^ |
| WG3D25LR2 |
2-123 |
35.9 毫米（1.41 英寸） |
ISO NW-25，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容 |
29.8 毫米（1.17 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D25SR2 |
2-123 |
35.9 毫米（1.41 英寸） |
ISO NW-25，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容 |
29.8 毫米（1.17 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D350R2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公或母墊圈密封接頭或?qū)附宇^ |
| WG3D35BW2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公或母墊圈密封接頭或?qū)附宇^ |
| WG3D3LBW2 |
沒有任何 |
沒有任何 |
沒有任何 |
沒有任何 |
沒有任何 |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
20 mm 對(duì)焊管接頭 |
| WG3D401R2 |
2-246 |
114.3 毫米（4.50 英寸） |
ISO NW-100，螺栓穿過(guò) |
122.4 毫米 (4.81) |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.25 兆帕（35 磅/平方英寸） |
0.35 兆帕（50 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D40DR2 |
2-224 |
52.1 毫米（2.05 英寸） |
ISO NW-40，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容 |
44 毫米（1.73 英寸） |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.3 兆帕（45 磅/平方英寸） |
0.4 兆帕（60 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D40TR2 |
2-224 |
52.1 毫米（2.05 英寸） |
ISO NW-40，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容 |
44 毫米（1.73 英寸） |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D50DR2 |
2-229 |
67.9 毫米（2.67 英寸） |
ISO NW-50，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容 |
59.9 毫米（2.35 英寸） |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.2 兆帕（30 磅/平方英寸） |
0.3 兆帕（45 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |