Chambergard ?快速排氣擴散器
通過減少負載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時間來提高效率和吞吐量。
獲得專利的燒結(jié)鎳技術(shù)可在所有應用中提供卓越的性能
設(shè)計能夠從進入的氣體中去除大于 0.0015 μm 的顆粒，從而最大限度地減少晶圓缺陷
提供快速排氣，而不會干擾或向晶圓添加顆粒，減少循環(huán)時間，同時提高產(chǎn)量
將擴散器的流動特性與高效過濾器相結(jié)合，以提高效率和吞吐量
易于改裝/安裝到現(xiàn)有工具中，最大限度地減少停機時間
?應用
Chambergard ?快速排氣擴散器應用
提供快速的氣體排放到大氣中，而不會干擾或向腔室中的晶片添加顆粒
產(chǎn)品規(guī)格
材料????擴散器元件：獲得專利的燒結(jié)鎳膜過濾器
?????外殼：316L不銹鋼
?????內(nèi)部表面光潔度：≤32 μin Ra
表現(xiàn)????下游清潔度：清潔度小于 0.03 個顆粒/升（<1 個顆粒/英尺3）大于 0.01 μm 在額定流量下
?????去除率：≥0.0015 μm
?????可靠性：在 25°C (77°F) 的最大額定入口壓力下，100,000 次循環(huán)的可靠性
連接????請參閱數(shù)據(jù)表
運行條件????請參閱數(shù)據(jù)表
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Chambergard? 快速排氣擴散器部件號
| 零件號 |
O 型圈尺寸 |
O型圈槽外徑 |
出口連接類型 |
O 型圈槽內(nèi)徑 |
O 型圈 凹槽深度 |
操作條件，最大入口壓力，出口至真空 |
工作條件，最大壓差 |
工作條件，最高工作溫度 |
入口連接類型 |
| WG3D16TR2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D228R2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公或母墊圈密封接頭或?qū)附宇^ |
| WG3D25LR2 |
2-123 |
35.9 毫米（1.41 英寸） |
ISO NW-25，隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容 |
29.8 毫米（1.17 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D25SR2 |
2-123 |
35.9 毫米（1.41 英寸） |
ISO NW-25，隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容 |
29.8 毫米（1.17 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D350R2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公或母墊圈密封接頭或?qū)附宇^ |
| WG3D35BW2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公或母墊圈密封接頭或?qū)附宇^ |
| WG3D3LBW2 |
沒有任何 |
沒有任何 |
沒有任何 |
沒有任何 |
沒有任何 |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
20 mm 對焊管接頭 |
| WG3D401R2 |
2-246 |
114.3 毫米（4.50 英寸） |
ISO NW-100，螺栓穿過 |
122.4 毫米 (4.81) |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.25 兆帕（35 磅/平方英寸） |
0.35 兆帕（50 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D40DR2 |
2-224 |
52.1 毫米（2.05 英寸） |
ISO NW-40，隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容 |
44 毫米（1.73 英寸） |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.3 兆帕（45 磅/平方英寸） |
0.4 兆帕（60 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D40TR2 |
2-224 |
52.1 毫米（2.05 英寸） |
ISO NW-40，隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容 |
44 毫米（1.73 英寸） |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |
| WG3D50DR2 |
2-229 |
67.9 毫米（2.67 英寸） |
ISO NW-50，隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容 |
59.9 毫米（2.35 英寸） |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.2 兆帕（30 磅/平方英寸） |
0.3 兆帕（45 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 帶 O 形圈，400° C (752° F) 不帶 O 形圈 |
1/4" VCR? 兼容公墊圈密封接頭 |