英特格Eximor? SV1 一次性過(guò)濾器，PRLV0S1S1

?

Eximor??SV1?一次性過(guò)濾器是高清潔使用點(diǎn)?(POU)?過(guò)濾器，適用于?RRC?溶劑和?NTD?顯影劑等關(guān)鍵光化學(xué)物質(zhì)。

在?28?nm?以下的技術(shù)節(jié)點(diǎn)提供出色的粒子保留和快速啟動(dòng)
芯填充結(jié)構(gòu)減少了整個(gè)過(guò)濾器啟動(dòng)時(shí)間并降低了過(guò)濾器啟動(dòng)期間的成本
高效啟動(dòng)有助于減少缺陷并實(shí)現(xiàn)快速、高穩(wěn)定性和可重復(fù)性?
專(zhuān)有的聚乙烯基薄膜技術(shù)可減少晶圓上的缺陷并以低壓力損失去除細(xì)顆粒
非篩分效應(yīng)進(jìn)一步減少顆粒并在啟動(dòng)過(guò)程中將清潔溶劑輸送到晶圓上?

?

產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?篩選?? ?UPE
??? ?外殼、核心、支撐?? ?高密度聚乙烯（HDPE）
??? ?O型圈（OF型）?? ?卡雷茲
使用條款?? ?最大工作壓力?? ?0.34 Mpa @ 25°C
??? ?最大允許正壓差/反向壓差?? ?0.27MPa @ 25°C
??? ?最高工作溫度?? ?40°C
對(duì)應(yīng)化學(xué)液?? ?環(huán)己酮 (CHN)、甲基戊基酮 (MAK)、乙酸正丁酯 (nBA)、乳酸乙酯 (EL)、丙二醇甲醚乙酸酯 (PGMEA)、丙二醇單甲醚 (PGME)、所有 PGME/PGMEA 混合溶劑
保持音量?? ?110 毫升?? ??
流量?? ?250 mL/min (20 °C, 1 mPa s) @ 壓降 0.03 MPa
Entegris 建議至少每年更換一次過(guò)濾器，以確保獲得最佳過(guò)濾性能。定期更換可減少因過(guò)度使用而導(dǎo)致化學(xué)品泄漏的機(jī)會(huì)。
Entegris 的標(biāo)準(zhǔn)保修期為自發(fā)貨之日起一年。