英特格ENTEGRIS在線氣體過(guò)濾器WG2F15HJJ6
Wafergard??II?F-1500?在線氣體過(guò)濾器
幻燈片細(xì)節(jié)。?
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為超純氣體系統(tǒng)提供卓越的微粒過(guò)濾，同時(shí)提供與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體的出色兼容性。
PTFE?膜提供高效過(guò)濾?
低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風(fēng)險(xiǎn)?
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性?
通過(guò)真空袋和雙袋包裝的潔凈室提供卓越的開箱即用清潔度
?
應(yīng)用
Wafergard
?II?F-1500?在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用
設(shè)施入口
隔板
設(shè)施追逐?
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
住房? 電拋光?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03?個(gè)顆粒/升?(<1?個(gè)顆粒/ft?3?)?>0.01?μm
揮發(fā)物 <10?ppb?水分@≥5%?額定流量
移除等級(jí) ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 ≤10?μin?Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2×10?-10??atm?cc/秒
經(jīng)過(guò)測(cè)試 1×10?-9??atm?cc/秒
運(yùn)行條件 最大入口壓力 18?bar?(250?psig)?在?23°C?(73°F)
最大正向壓差 7?bar?(120?psid)?在?23°C?(73°F)
最大反向壓差 23°C?(73°F)?時(shí)為?2.5?bar?(36?psid)
最高工作溫度 120°C?(248°F)
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?在?1500?slpm?下去除所有顆粒（參考最滲透顆粒尺寸）
流量等級(jí) 查看性能數(shù)據(jù)
零件號(hào)
Wafergard??II?F-1500?在線氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WG2F15HJJ4 1/2"?對(duì)焊管 295.0?毫米（11.60?英寸）
WG2F15HJJ6 3/4"?對(duì)焊管 295.0?毫米（11.60?英寸）
WG2F15HRR2 3/4"?墊圈密封（與?VCR??接頭兼容），外螺紋入口/出口 398.0?毫米（15.68?英寸）
WG2F15HRR3 3/8"?墊圈密封（與?VCR??接頭兼容）外螺紋入口/出口 225.0?毫米（8.86?英寸）
?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?XX67000WH?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGGB01KAN?? ?氣體過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01KL0?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?YY260103P?? ?濾殼
ENTEGRIS?? ??? ?PN2H010E1?? ?濾芯
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WGFG02PR1?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3?? ?氣動(dòng)閥
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT4?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WG2SS8RR2?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WG3NS6RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?CR8-2CT-12FF-3?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?YY260103P?? ?濾殼
ENTEGRIS?? ??? ?PN2H010E1?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?XX67000WH?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGGB01KAN?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01KL0?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3?? ?偵測(cè)器
Entegris?? ??? ?WG2SS8RR2?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WG3NS6RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS2RR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?YY260103N?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?CR4-2C-6F-3?? ?氣動(dòng)閥
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT4?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01DS0（一包十個(gè)）?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ? CTFV01P01KPW?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3 13085331?? ?氣動(dòng)閥
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS2RR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?CWFV0S1S3?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3?? ?氣動(dòng)閥
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?CN2501E6?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過(guò)濾器
entegris?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG2SS8RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?CN2501E6?? ?濾芯
Entegris?? ??? ?SVTH01TQ1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?CN2501E06?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG50PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01DSH?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?PLMV-K12?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLMV-K04?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLMV-K16?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLPV-K04?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLPV-K08?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLPV-K12?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLPV-K16?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F02RR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?CR8-2CT-12FF-3?? ?氣動(dòng)閥
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?YY5032PS1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMBRR2?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過(guò)濾器
entegris?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?YY5032PS1?? ?
Entegris?? ??? ?WGFG21KP0?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
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ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01DS0?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WGFG21KP0?? ?
Entegris?? ??? ?WG2SS8RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F15HJJ6?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPRR4?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過(guò)濾器