完整的探測(cè)器套件和探測(cè)器盒的描述 套件部件編號(hào) 氨 0-100 ppm 套件 MIDAS-K-NH3 砷化三氫 0-0.2 ppm 套件 MIDAS-K-ASH 三氯化硼 0-8 ppm，二氯甲硅烷 0-8 ppm，溴化氫 0-8 ppm， 氯化氫 0-8 ppm MIDAS-K-HCL 三氟化硼 0-8 ppm，氟化氫 0-12 ppm，三氟化氮 4-40 ppm， 以及六氟化鎢 0-12 ppm 套件 MIDAS-K-HFX 溴 0-0.4 ppm 與二氧化氯 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-BR2 氯 0-2 ppm 與氟 0-4 ppm 套件 MIDAS-K-HAL 二氧化碳 0-2.0% v/v 套件 MIDAS-K-CO2 一氧化碳 0-100 ppm 套件 MIDAS-K-COX 硼乙烷 0-0.4 ppm 與鍺烷 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-HYD 氫 0-1000 ppm 套件 MIDAS-K-H2X 氫 0-100% LEL 與甲烷 0-100% LEL 套件 1 MIDAS-K-LEL 氰化氫 0-20 ppm 套件 MIDAS-K-HCN 硒化氫 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-HSE 硫化氫 0-40 ppm 套件 MIDAS-K-H2S 一氧化氮 0-100 ppm 套件 MIDAS-K-NOX 二氧化氮 0-12 ppm 套件 MIDAS-K-NO2 氧氣 0-25% v/v 套件 MIDAS-K-O2X 臭氧 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-O3X 磷化氫 0-1.2 ppm 套件 MIDAS-K-PH3 氯氧化磷 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-POC 硅烷 0-20 ppm 與 乙硅烷 0-20 ppm 套件 MIDAS-K-SHX 硅烷 低級(jí)別 0-2 ppm 套件 MIDAS-K-SHL 四氟化硫 0-0.8 ppm 與三氟化氯 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-SF4 二氧化硫 0-8 ppm 套件 MIDAS-K-SO2 TEOS 0-40 ppm 套件 MIDAS-K-TEO