VacuSeal?金屬墊圈端面密封接頭具有極高的泄漏完整性，適用于需要超高純度條件的關(guān)鍵應(yīng)用，如半導(dǎo)體工具掛鉤、閥組箱（VMB）和氣體分配系統(tǒng)。接頭采用匹配墊圈和環(huán)形設(shè)計(jì)，形成金屬對(duì)金屬密封，并提供高達(dá)9000 psig的真空無泄漏服務(wù)。

VacuSeal?接頭尺寸從1/8到1英寸不等，有多種閥體和壓蓋配置。它們?cè)?00級(jí)潔凈室中由Veriflo專有的Vericlean?低硫316L不銹鋼制成。標(biāo)準(zhǔn)的5 Ra，電拋光潤(rùn)濕表面光潔度減少了截留面積，同時(shí)提供了卓越的耐腐蝕性。可提供高純度鎳和哈氏合金C-22?壓蓋，以確保在極端腐蝕性應(yīng)用中的性能和可靠性。

VacuSeal?接頭設(shè)計(jì)用于與平面和Verfilo的TorqTite?自對(duì)準(zhǔn)面密封墊圈配合使用，無需安裝工具，可消除由于熱循環(huán)和振動(dòng)導(dǎo)致的部件松動(dòng)。TorqTite?還可確保密封，即使在損壞的環(huán)面上也是如此，并允許施加極高的扭矩，而不會(huì)有損壞密封表面的風(fēng)險(xiǎn)。這與VacuSeal?接頭的超高純度結(jié)構(gòu)材料相結(jié)合，大限度地減少了顆粒的產(chǎn)生，并確保了清潔度至關(guān)重要的晶圓制造操作中的泄漏完整性。

所有VacuSeal?接頭都經(jīng)過氦氣泄漏測(cè)試，以確保在要求苛刻的超高壓應(yīng)用中的性能和可靠性。

市場(chǎng)：
?半導(dǎo)體
?工具制造
?分析實(shí)驗(yàn)室
?制藥
?BioPharm
?航空航天
?工業(yè)

應(yīng)用：
?腐蝕性氣體和特種氣體
?半導(dǎo)體Fab氣體分配系統(tǒng)
?半導(dǎo)體工具
?工具連接
?燃?xì)夤?br /> ?閥組箱（VMB）

特點(diǎn)/優(yōu)點(diǎn)：
?兩個(gè)泄漏測(cè)試端口，便于進(jìn)行泄漏測(cè)試
?泄漏率：≤1 x 10-9 STD scc/秒He
?5 Ra內(nèi)部電拋光表面光潔度
?內(nèi)螺紋螺母采用強(qiáng)化電鍍工藝鍍銀，用于清潔、電拋光和鈍化中的腐蝕性化學(xué)工藝
?非旋轉(zhuǎn)內(nèi)螺紋螺母可防止在上扣過程中傳遞扭矩，從而大限度地減少導(dǎo)致應(yīng)力集中的部件扭曲
?防磨損內(nèi)螺紋螺母可確保在無電鍍或潤(rùn)滑的情況下實(shí)現(xiàn)一致的補(bǔ)償。
?獲得專利的TorqTite?墊圈最初接觸內(nèi)錐，徑向擠出任何截留的污染物
?壓蓋上的加熱代碼提供了原材料的可追溯性
?從系統(tǒng)中移除部件不需要軸向間隙
?平滑過渡到內(nèi)徑，大限度地減少截留面積


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CHUV3L0P1?

CBUV0S0P1?
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