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接頭/閥門(mén)

現(xiàn)貨ENTEGRIS英特格WG3D40DR2
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  • Chambergard?快速排氣擴(kuò)散器是可靠的選擇
    通過(guò)zui小化負(fù)載鎖定通風(fēng)循環(huán)來(lái)提高系統(tǒng)吞吐量
    時(shí)間。這些擴(kuò)散器可快速排放到大氣中
    而不會(huì)干擾或向腔室中的晶片添加顆粒。
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材料擴(kuò)散器元件:專(zhuān)利,燒結(jié)鎳膜過(guò)濾器
外殼:316L不銹鋼
內(nèi)部表面光潔度:≤32μin Ra
性能下游清潔度:在額定流量下,清潔度小于0.03個(gè)顆粒/升(<1個(gè)顆粒/ft3),大于0.01μm
去除率:≥0.0015μm
可靠性:25°C(77°F)下zui大額定入口壓力下的100000次循環(huán)可靠性
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