MicroFlow的質(zhì)量流量計系列是檢測部采用了本公司獨立開發(fā)的熱式流速傳感器「μF傳感器（Micro Flow Sensor）」的質(zhì)量流量計。
使用微型機器技術(shù)、把超微細(xì)的流速傳感器與高級的流路設(shè)計技術(shù)進(jìn)行融合，用低價格實現(xiàn)了以前沒有的高精度、寬可調(diào)比。

適用于生產(chǎn)工序、實驗裝置等使用的燃料煤氣?各種工業(yè)煤氣?工廠空氣的流量管理及各車間的使用量管理等。

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質(zhì)量流量檢測

與空氣、煤氣的使用溫度、壓力無關(guān)，可測量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。
（* 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量是指在1個大氣壓、0°C（或20°C）時的體積流量。）

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寬廣的測量范圍

相對于測量流量的低流量區(qū)域，一般的氣體流量計都難于檢測，通過搭載μF傳感器，可實現(xiàn)寬廣范圍的測量、控制。實現(xiàn)了質(zhì)量流量計CMS的可調(diào)比100：1、大流量質(zhì)量流量計CML的可調(diào)比160：1（測量范圍為1,280：1）的高可調(diào)比！
適合于空氣及燃?xì)獾氖褂昧康墓芾怼⒓肮?jié)能的漏氣管理。

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快速響應(yīng)

傳感器直接與氣體接觸進(jìn)行檢測，實現(xiàn)了快速響應(yīng)。

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低圧損構(gòu)造

μF傳感器設(shè)置在流路的壁面上，所以阻礙流體流動的構(gòu)造體少，具有低壓力損失的特點。適合于低圧氣體流量的檢測、控制。

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高精度

質(zhì)量流量計采用RD（讀數(shù)）精度規(guī)定，實現(xiàn)了寬廣流量區(qū)域下的高精度檢測。

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各種功能

通過控制機器積累的微電腦的技術(shù)，搭載了以前的質(zhì)量流量計沒有的各種功能。
瞬時／累積流量顯示、煤氣種類切換功能、上下限報警輸出、模擬輸出、累積脈沖輸出、通信功能等　（* 因產(chǎn)品而異）

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種類豐富的產(chǎn)品

根據(jù)使用用途，備有從0～500mL/min到0～1600m3/h的寬廣流量區(qū)域的產(chǎn)品。

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